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SpecEl 橢偏儀
SpecEl橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEl通過(guò)PC控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)
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波長(zhǎng)范圍: |
380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
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光學(xué)分辨率 |
4.0 nm FWHM |
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測(cè)量精度 |
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
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入射角 |
70° |
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膜厚 |
單透明膜1-5000 nm |
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光點(diǎn)尺寸 |
2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 μm x 400 μm (可選) |
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采樣時(shí)間 |
3-15s (小) |
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動(dòng)態(tài)記錄 |
3 seconds |
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膜層數(shù) |
至多32層 |
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參考 |
不需要 |
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